Σύστημα ελέγχου ISO-K/CF θερμοκρασίας θέρμανσης αντλιών υδρόψυξης Magenetically Levitated

Αντλία Maglev, CXF-250/2301, ISO-K / CF, ψύξη με νερό επί του σκάφους

Οι μαγνητικώς αιωρούμενες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων ο άξονας υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη, ικανοποιώντας τις απαιτήσεις εφαρμογής για πεδία σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή τσιπ, βιομηχανική επένδυση και επιστημονικά όργανα.

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για το μαγνητικό έδρανο: ένας μαγνητικά εκτεινόμενος 5 αξόνων, βασισμένος στην προηγμένη διεθνή θεωρία ελέγχου, που εγγυάται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλής ταχύτητας, όπως η σταθερή, ανυψωμένη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κινητήρα: Υψηλής απόδοσης κινητήρας συνεχούς ρεύματος και σύστημα ελέγχου σερβομηχανισμού, με μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και αυτόματη αντιστάθμιση της ταχύτητας περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και λειτουργία αυτόματης ρύθμισης της δυναμικής ενέργειας .
• Τεχνολογία σύνθετων ρότορα από ανθρακονήματα: Κατασκευάζεται με σύνθετο κράμα αλουμινίου υψηλής αντοχής και ελαφριές ίνες άνθρακα. που χαρακτηρίζεται από μεγάλη μείωση του βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, έτσι ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία ανθεκτικό στη διάβρωση: Οι επιφάνειες των τμημάτων σε θαλάμους επεξεργάζονται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντέξουν τη διάβρωση που προκαλείται από διαβρωτικά αέρια στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπροσθέτως, αδρανή αέρια όπως το Ν2 γεμίζονται πλήρως στην άτρακτο των αντλιών για την προστασία των μερών χαμηλής κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να πραγματοποιείται η λειτουργία σταθερά εξαντλητικών διαβρωτικών αερίων για μεγάλες περιόδους.
• Το σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης: εξοπλισμένο με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, νερό ψύξης, θέρμανση αέρα-οστών, ηλεκτρική θέρμανση και θερμότητα που μεταφέρεται με προστατευτικά αέρια μπορεί να παρακολουθείται και να ελέγχεται κατά τη λειτουργία, η θερμοκρασία στις αντλίες μπορεί να διατηρηθεί σε κάποια τιμή μακροπρόθεσμα, ορισμένες αέριες ουσίες δεν μετατρέπονται σε στερεές ουσίες σε κανονική θερμοκρασία και δεν εναποτίθενται στις αντλίες και μπορούν να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις για ειδική διαδικασία όπως η χάραξη.

Τα πλεονεκτήματα:

Οι αντλίες αυτές έχουν πλεονεκτήματα, όπως μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ρεύματος, εύκολη απόκτηση πραγματικά καθαρού υψηλού κενού και εξαιρετικά υψηλού κενού χωρίς λίπανση για αντλίες, ικανή για εξαγωγή διαβρωτικών αερίων για μακροπρόθεσμη διάρκεια, υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής λόγω προστασίας των ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας και λειτουργία παραγωγής ηλεκτρικής ενέργειας σε περίπτωση αιφνίδιας διακοπής. Έχει προσθήκες ως ελεύθερη τριβής, ρύπανσης και συντήρησης και με χαμηλή δόνηση και μπορεί να εγκατασταθεί σε οποιοδήποτε προσανατολισμό.

Εφαρμογές:

Η εκχύλιση των διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στα εμφυτεύματα etch, CVD, PVD, ιόντων και αερίων εύκολα πήζει σε κανονική θερμοκρασία στους τομείς της κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής κλιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων, ειδικά για την.

ΠΡΟΔΙΑΓΡΑΦΕΣ: