Λεπτομέρειες:
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
|
Φλάντζα: | ISO-K/CF | ψύξη: | νερό |
---|---|---|---|
Ελεγκτής: | Επί του σκάφους | Τελευταία πίεση: | ΘΦ: 1E-6, ISO-K/F: 6E-6 |
Επισημαίνω: | στροβιλο μοριακές αντλίες,turbomolecular κενή αντλία |
Αντλία Maglev, CXF-250 / 2301E, ψύξη με νερό, επί του σκάφους
Οι μαγνητικώς αιωρούμενες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων η άτρακτος υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη.
Οι σειριακά μοριακές αντλίες με μαγνητική διόγκωση είναι εξοπλισμός γεννήτριας κενού που αναπτύχθηκε από την KYKY για την ικανοποίηση των απαιτήσεων εφαρμογής για τα πεδία της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής τσιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.
Τεχνολογίες:
Εφαρμογές:
Οι μαγνητικές αντλίες με μαγνητική διόρθωση χρησιμοποιούνται κυρίως σε πεδία παραγωγής ημιαγωγών, κατασκευής κλιπ, βιομηχανικής επιμετάλλωσης και επιστημονικών οργάνων, ειδικά για την εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν σε etch, CVD, PVD και εμφύτευση ιόντων και αερίων εύκολα πήγαν σε κανονική θερμοκρασία.
ΠΡΟΔΙΑΓΡΑΦΕΣ:
Φλάντζα (σε) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Φλάντζα (Έξοδος) KF | DN40 |
Ταχύτητα άντλησης (L / s) | Ν 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Αυτός: 1900 | |
Η2: 850 | |
Αναλογία συμπίεσης | Ν 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Αυτός: 10 4 | |
Η 2 : 10 3 | |
Τελική πίεση (Pa) | CF: 1 × 10-6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Μέγιστη. Συνεχής πίεση πρόσθιου κενού (Pa) | 60 |
Μέγιστη. Πάνω πίεση κενού | Ν2: 250 |
Φυσικό αέριο (sccm) | Ν 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Αυτός: 2800 | |
Η2: 2100 | |
Ταχύτητα περιστροφής (rpm) | 27000 |
Χρόνος εκτέλεσης (λεπτά) | ≤11 |
Τύπος ψύξης, Τυπικό | Νερό |
Κατανάλωση νερού ψύξης (L / λεπτό) | 1 |
Θερμοκρασία νερού ψύξης (℃) | 20 |
Σύνδεση ρεύματος: Τάση (V AC) | 220 |
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Mr. Wang Chao
Τηλ.:: 86-10-82548198, 82548271
Φαξ: 86-010-62564613