Μαγνητικά στροβιλοκίνητες αντλίες και αντλώντας συστήματα cxf-250/2301E Levitated

Αντλία Maglev, CXF-250 / 2301E, ψύξη με νερό, επί του σκάφους

Οι μαγνητικώς αιωρούμενες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων η άτρακτος υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη.

Οι σειριακά μοριακές αντλίες με μαγνητική διόγκωση είναι εξοπλισμός γεννήτριας κενού που αναπτύχθηκε από την KYKY για την ικανοποίηση των απαιτήσεων εφαρμογής για τα πεδία της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής τσιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για το μαγνητικό έδρανο: ένας μαγνητικά εκτεινόμενος 5 αξόνων, βασισμένος στην προηγμένη διεθνή θεωρία ελέγχου, που εγγυάται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλής ταχύτητας, όπως η σταθερή, ανυψωμένη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κινητήρα: Υψηλής απόδοσης κινητήρας συνεχούς ρεύματος και σύστημα ελέγχου σερβομηχανισμού, με μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και αυτόματη αντιστάθμιση της ταχύτητας περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και λειτουργία αυτόματης ρύθμισης της δυναμικής ενέργειας .
• Τεχνολογία σύνθετων ρότορα από ανθρακονήματα: Κατασκευάζεται με σύνθετο κράμα αλουμινίου υψηλής αντοχής και ελαφριές ίνες άνθρακα. που χαρακτηρίζεται από μεγάλη μείωση του βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, έτσι ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία ανθεκτικό στη διάβρωση: Οι επιφάνειες των τμημάτων σε θαλάμους επεξεργάζονται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντέξουν τη διάβρωση που προκαλείται από διαβρωτικά αέρια στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπροσθέτως, αδρανή αέρια όπως το Ν2 γεμίζονται πλήρως στην άτρακτο των αντλιών για την προστασία των μερών χαμηλής κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να πραγματοποιείται η λειτουργία σταθερά εξαντλητικών διαβρωτικών αερίων για μεγάλες περιόδους.
• Το σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης: εξοπλισμένο με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, νερό ψύξης, θέρμανση αέρα-οστών, ηλεκτρική θέρμανση και θερμότητα που μεταφέρεται με προστατευτικά αέρια μπορεί να παρακολουθείται και να ελέγχεται κατά τη λειτουργία, η θερμοκρασία στις αντλίες μπορεί να διατηρηθεί σε κάποια τιμή μακροπρόθεσμα, ορισμένες αέριες ουσίες δεν μετατρέπονται σε στερεές ουσίες σε κανονική θερμοκρασία και δεν εναποτίθενται στις αντλίες και μπορούν να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις για ειδική διαδικασία όπως η χάραξη.

Εφαρμογές:

Οι μαγνητικές αντλίες με μαγνητική διόρθωση χρησιμοποιούνται κυρίως σε πεδία παραγωγής ημιαγωγών, κατασκευής κλιπ, βιομηχανικής επιμετάλλωσης και επιστημονικών οργάνων, ειδικά για την εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν σε etch, CVD, PVD και εμφύτευση ιόντων και αερίων εύκολα πήγαν σε κανονική θερμοκρασία.

ΠΡΟΔΙΑΓΡΑΦΕΣ: