Water Cooling Turbomolecular Pump / Magentically Levitated Pump On Board Controller

Αντλία Maglev , CXF-320/3001E , Υδροψύξη , ISO-F , Επί του σκάφους

Το ηλεκτρομαγνητικό έδρανο ονομάζεται επίσης «ενεργές μαγνητικές αιωρούμενες αρκούδες», που αποτελείται από ένα μαγνητικό έδρανο, έναν αισθητήρα και ένα σύστημα ελέγχου. Αυτός ο σχεδιασμός έχει δυναμική απόκριση και έγκαιρη ρύθμιση, άξονες υψηλής ταχύτητας και αξιόπιστη λειτουργία.

Οι μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων ο άξονας υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη.

Οι σειρές μοριακών αντλιών με μαγνητική αιώρηση είναι εξοπλισμός παραγωγής κενού που αναπτύχθηκε από την KYKY για την ικανοποίηση των απαιτήσεων εφαρμογών σε τομείς της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής τσιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.

Φόντα:

1. Μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ενέργειας

2. Εύκολο να αποκτήσετε πραγματικά καθαρό υψηλό κενό και εξαιρετικά υψηλό κενό χωρίς λίπανση για αντλίες

3. Δυνατότητα εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μεγάλο χρονικό διάστημα

4. Υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής λόγω προστασίας ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας

5. Λειτουργία παραγωγής ρεύματος σε περίπτωση ξαφνικής απενεργοποίησης

6. Χωρίς τριβές

7. Χωρίς ρύπανση

8. Χωρίς συντήρηση

9. Χαμηλή δόνηση

10. εγκατεστημένο σε οποιονδήποτε προσανατολισμό.

Εφαρμογές:

Οι σειρές μαγνητικά ανυψωμένες μοριακές αντλίες εφαρμόζονται κυρίως σε πεδία κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή κλιπ, βιομηχανική επιμετάλλωση και επιστημονικά όργανα, ειδικά στην εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στην εμφύτευση ιόντων, CVD, PVD και ιόντων και αερίων που πήζουν εύκολα σε κανονική θερμοκρασία.

Προδιαγραφές:

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για μαγνητικά ρουλεμάν:ένας μαγνητικά ανυψούμενος 5 άξονες, βασισμένος στην προηγμένη διεθνή θεωρία ελέγχου, για να εγγυάται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλής ταχύτητας όπως η σταθερή ανυψωμένη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κίνησης κινητήρα:Υψηλής απόδοσης κινητήρας DC υψηλής ταχύτητας και σύστημα ελέγχου σερβομηχανισμού, που έχει τη μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και αντισταθμίζει αυτόματα την ταχύτητα περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και αυτόματη λειτουργία ρύθμισης της δυναμικής ενέργειας.
• Τεχνολογία σύνθετου ρότορα από ανθρακονήματα:Κατασκευασμένο από τη σύνθεση κράματος αλουμινίου υψηλής αντοχής και ελαφρού βάρους ανθρακονημάτων. χαρακτηρίζεται από μεγάλη μείωση βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία αντοχής στη διάβρωση:Οι επιφάνειες των εξαρτημάτων στους θαλάμους επεξεργάζονται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντιστέκονται στη διάβρωση που προκαλείται από διαβρωτικά αέρια στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπλέον, αδρανή αέρια όπως το N2 γεμίζονται πλήρως στον άξονα των αντλιών για την προστασία των τμημάτων χαμηλού κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να επιτυγχάνεται η λειτουργία σταθερής εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μεγάλα χρονικά διαστήματα.
• Σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης:εξοπλισμένο με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, νερό ψύξης, θέρμανση αέρα-οστά, ηλεκτρική θέρμανση και θερμότητα που μεταφέρεται από προστατευτικά αέρια μπορούν να παρακολουθούνται και να ελέγχονται κατά τη λειτουργία, η θερμοκρασία στις αντλίες μπορεί να διατηρηθεί σε κάποια τιμή για μεγάλο χρονικό διάστημα, ορισμένες αέριες ουσίες δεν μετατρέπονται σε στερεές ουσίες σε κανονική θερμοκρασία και δεν εναποτίθενται στις αντλίες και απαιτήσεις για ειδική διαδικασία όπως η χάραξη.