Χαμηλής ισχύος κατανάλωση αντλιών ISO-K/CF Turbomolecular λίπανσης Maglev

Αντλία Maglev, CXF-200/1400, Ψύξη νερού, ISO-K / CF, Εξωτερικός ελεγκτής

Οι μαγνητικώς αιωρούμενες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων η άτρακτος υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη.

Οι σειριακά μοριακές αντλίες με μαγνητική διόγκωση είναι εξοπλισμός γεννήτριας κενού που αναπτύχθηκε από την KYKY για την ικανοποίηση των απαιτήσεων εφαρμογής για τα πεδία της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής τσιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για το μαγνητικό έδρανο: ένας μαγνητικά εκτεινόμενος 5 αξόνων, βασισμένος στην προηγμένη διεθνή θεωρία ελέγχου, που εγγυάται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλής ταχύτητας, όπως η σταθερή, ανυψωμένη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κινητήρα: Υψηλής απόδοσης κινητήρας συνεχούς ρεύματος και σύστημα ελέγχου σερβομηχανισμού, με μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και αυτόματη αντιστάθμιση της ταχύτητας περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και λειτουργία αυτόματης ρύθμισης της δυναμικής ενέργειας .
• Τεχνολογία σύνθετων ρότορα από ανθρακονήματα: Κατασκευάζεται με σύνθετο κράμα αλουμινίου υψηλής αντοχής και ελαφριές ίνες άνθρακα. που χαρακτηρίζεται από μεγάλη μείωση του βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, έτσι ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία ανθεκτικό στη διάβρωση: Οι επιφάνειες των τμημάτων σε θαλάμους επεξεργάζονται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντέξουν τη διάβρωση που προκαλείται από διαβρωτικά αέρια στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπροσθέτως, αδρανή αέρια όπως το Ν2 γεμίζονται πλήρως στην άτρακτο των αντλιών για την προστασία των μερών χαμηλής κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να πραγματοποιείται η λειτουργία σταθερά εξαντλητικών διαβρωτικών αερίων για μεγάλες περιόδους.
• Το σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης: εξοπλισμένο με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, νερό ψύξης, θέρμανση αέρα-οστών, ηλεκτρική θέρμανση και θερμότητα που μεταφέρεται με προστατευτικά αέρια μπορεί να παρακολουθείται και να ελέγχεται κατά τη λειτουργία, η θερμοκρασία στις αντλίες μπορεί να διατηρηθεί σε κάποια τιμή μακροπρόθεσμα, ορισμένες αέριες ουσίες δεν μετατρέπονται σε στερεές ουσίες σε κανονική θερμοκρασία και δεν εναποτίθενται στις αντλίες και μπορούν να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις για ειδική διαδικασία όπως η χάραξη.

Τα πλεονεκτήματα:

1. Μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ρεύματος

2. Εύκολο να αποκτήσετε πραγματικά καθαρό υψηλό κενό και ultrahigh κενό χωρίς λίπανση για τις αντλίες

3. Δυνατότητα εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μακροχρόνια χρήση

4. Υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής χάρη στην προστασία των ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας

5. Λειτουργία παραγωγής ισχύος σε περίπτωση ξαφνικής διακοπής λειτουργίας

6. Χωρίς τριβή

7. Χωρίς ρύπανση

8. Χωρίς συντήρηση

9. Χαμηλή δόνηση

10. εγκατεστημένο σε οποιοδήποτε προσανατολισμό.

Εφαρμογές:

Η εκχύλιση των διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στα εμφυτεύματα etch, CVD, PVD, ιόντων και αερίων εύκολα πήγαν σε κανονική θερμοκρασία στους τομείς της παραγωγής ημιαγωγών, της κατασκευής κλιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων,.

ΠΡΟΔΙΑΓΡΑΦΕΣ: