Επιστημονικά όργανα καινοτομίας
Να αναπτυχθεί στις πρώτης τάξεως επιχειρήσεις
|
Λεπτομέρειες:
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
|
| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| Επισημαίνω: | ηλεκτρονικό μικροσκόπιο SEM,μηχανή SEM |
||
Ως Kyky πάνω από 60 χρόνια SEM παραγωγή εμπειρίας, ολόκληρη η σειρά EM υποστηρίζει το παλιό σύστημα ανακαινισμένο και προσαρμοσμένο σύστημα ως SEM+, όπως η λιθογραφία δέσμης ηλεκτρονίων, η αναβάθμιση του Lab6, ενσωματωμένη με το STM, AFM, στάδιο θέρμανσης · στάδιο Cryo · TENSILE STAGE, Micro-Nano Manipulator κ.λπ.
Advanteges:
◆ Προαιρετικές μονάδες χαμηλού κενού (LVSE, LVBSE)
◆ Πλούσιες λειτουργίες αυτοματισμού
◆ Προσαρμογή στήλης/θαλάμου/ηλεκτρικού συστήματος
◆ Προαιρετικό θάλαμο μεγάλου μεγέθους
◆ ΚΑΘΑΡΙΣΜΟΣ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΩΝ ΠΕΔΙΟΥ
◆ Πλούσια επεκτάσεις επεκτάσεων
Προδιαγραφές:
| Είδος | EM6910 SEM SEM Tungsten | |
| Ψήφισμα | SE: 3nm@30kv, 8nm@3kv ； BSE: 4nm@30kv | |
| Μεγέθυνση | 1X-450000X | |
| Ηλεκτρονικό όπλο | Προ-ευθυγραμμισμένο νήμα βολφραμίου | |
| Τάση επιτάχυνσης |
0.2KV-30KV
|
|
|
Σύστημα κενού
|
Turbo Molecular Pump +Μηχανική Αντλία
|
|
| Αντικειμενικό άνοιγμα | Το διάφραγμα του μολυβδαινίου ρυθμιζόμενο εξωτερικό σύστημα κενού | |
| Στάδιο δείγματος | Στάδιο πέντε άξονων | |
| Ταξίδι | X (auto) | 0 ~ 80mm |
| Σειρά | Y (auto) | 0 ~ 50mm |
| Z (εγχειρίδιο) | 0 ~ 30mm | |
| R (εγχειρίδιο) | 360 ° | |
| T (εγχειρίδιο) | -5 ° ~ 70 ° | |
| Μέγιστη διάμετρο δείγματος | 175 χιλιοστά | |
| Ανιχνευτής |
Δευτερεύων ανιχνευτή ηλεκτρονίων
|
|
|
Ανιχνευτής BSE ημιαγωγών ※
|
||
|
Υπέρυθρος CCD
|
||
| Low-Vacuum sed ※/ χαμηλής βακτίου BSED ※
|
||
| Τροποποίηση | Αναβάθμιση σταδίου, EBL; STM; AFM; Στάδιο θέρμανσης · Cryo Stage; Στάδιο εφελκυσμού. Micro-Nano Manipulator; Μηχανή επικάλυψης SEM+, SEM+λέιζερ | |
| Αξεσουάρ | LAB6, ανιχνευτής ακτίνων Χ (eds), EBSD, CL, WDS, μηχανή επικάλυψης | |
|
Χαμηλή λειτουργία κενού ※
|
Επίπεδο κενού 10-270pa SE: 4nm@30kv, 50pa
|
|
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Ms. Wang He
Τηλ.:: 86-10- 82548271
Φαξ: 86-010-62564613
