|
Λεπτομέρειες:
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
|
Ταχύτητα άντλησης: | 1401L/s | λίπανση: | Maglev |
---|---|---|---|
Φλάντζα: | ISO-F/CF 200 | Ψύξη: | Νερό |
όνομα: | Μηά τριβή 5 αντλία Turbomolecular άξονα αντιδιαβρωτική | λέξη κλειδί: | Αντλία Turbomolecular |
Υψηλό φως: | μηά turbomolecular αντλία τριβής,turbomolecular αντλία 5 άξονα,turbomolecular αντλία αντιδιαβρωτική |
Water Cooling Maglev Lubrication Turbomolecular Pump CE
Technologies:
Specifications:
Model | CXF-200/1401 |
Pump Speed(l/s,Air) | 1400 |
Compression Ratio | >1×107 |
Ultimate Vacuum(Pa) | ≤2×10-6 |
Inlet Flange | DN200 ISO K(LF) |
DN200 ISO F | |
DN200 ISO CF | |
Outlet Flange | KF 40 |
Rotation Speed(rpm) | 33000 |
Run-up Time(min) | 6 |
VIB (mm) | <0.05 |
Backing Pump (L/s) | 15 |
Mounting or ientation | Any |
Cooling method | Water |
Weight(kg)(With Controller) | 51 |
Applications:
Series magnetically levitated molecular pumps are mainly applied to fields of semiconductor manufacturing, clip manufacturing, industrial plating and scientific instruments, especially to extraction of corrosive gases existing in etch, CVD, PVD and ion implantation and gases easily coagulated at normal temperature.
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: sales
Τηλ.:: +8613810212935