Μαγνητικά χαμηλή δόνηση cxf-320/3000E κενών αντλιών Levitated Turbomolecular

Αντλία Maglev, CXF-320 / 3000E, ψύξη Waterr, ISO-F, εξωτερικός ελεγκτής

Οι μαγνητικώς αιωρούμενες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων η άτρακτος υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη.

Οι σειριακά μοριακές αντλίες με μαγνητική διόγκωση είναι εξοπλισμός γεννήτριας κενού που αναπτύχθηκε από την KYKY για την ικανοποίηση των απαιτήσεων εφαρμογής για τα πεδία της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής τσιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.

Το ηλεκτρομαγνητικό έδρανο ονομάζεται επίσης "ενεργή μαγνητική αρτηριακή αρκούδα", που αποτελείται από ένα μαγνητικό έδρανο, έναν αισθητήρα και ένα σύστημα ελέγχου. Αυτός ο σχεδιασμός έχει δυναμική απόκριση και έγκαιρη ρύθμιση, άξονα υψηλής ταχύτητας και αξιόπιστη λειτουργία.

Τα πλεονεκτήματα:

1. Μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ρεύματος

2. Εύκολο να αποκτήσετε πραγματικά καθαρό υψηλό κενό και ultrahigh κενό χωρίς λίπανση για τις αντλίες

3. Δυνατότητα εξαγωγής διαβρωτικών αερίων για μακροχρόνια χρήση

4. Υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής χάρη στην προστασία των ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας

5. Λειτουργία παραγωγής ισχύος σε περίπτωση ξαφνικής διακοπής λειτουργίας

6. Χωρίς τριβή

7. Χωρίς ρύπανση

8. Χωρίς συντήρηση

9. Χαμηλή δόνηση

10. εγκατεστημένο σε οποιοδήποτε προσανατολισμό.

Τεχνολογίες:

• Τεχνολογία ελέγχου για μαγνητικό έδρανο: 5 αξόνων μαγνητικά αφαιρεθεί. Αυτός ο σχεδιασμός μπορεί να έχει δυναμική απόκριση και έγκαιρη προσαρμογή μέσω δυναμικής ενεργής τεχνολογίας κλειστού κυκλώματος μαγνητικής ανάρτησης βασισμένης στην προηγμένη θεωρία διεθνών ελέγχων, έτσι ώστε να εξασφαλίζονται τόσο σημαντικά πλεονεκτήματα του άξονα υψηλής ταχύτητας, όπως σταθερή, ανυψωμένη και αξιόπιστη λειτουργία.
• Τεχνολογία ελέγχου κινητήρα: Ο κινητήρας συνεχούς ρεύματος υψηλού βαθμού απόδοσης και ο σερβομηχανισμός εφαρμόζονται σε σειρές με μαγνητική αντλία, έτσι ώστε να υπάρχει μέγιστη ενέργεια του κινητήρα και να αντισταθμίζεται αυτόματα η ταχύτητα περιστροφής του άξονα, επιτυγχάνοντας έτσι σταθερή εκκίνηση, αξιόπιστη λειτουργία και λειτουργία αυτόματης ρύθμισης της δυναμικής ενέργειας.
• Τεχνολογία ροτών σύνθετων ινών άνθρακα: Οι στροβιλοί στροφείς των σειριακών μοριακών αντλιών μαγνητικής ανάρτησης κατασκευάζονται με τη σύνθεση κράματος αλουμινίου υψηλής αντοχής και ινών άνθρακα ελαφρού βάρους. Σε σύγκριση με όλους τους δρομείς αλουμινίου, οι στροβιλοί ρότορες χαρακτηρίζονται από μεγάλη μείωση του βάρους και μεγάλη βελτίωση της αντοχής, έτσι ώστε να επιτυγχάνονται στόχοι υψηλής ταχύτητας περιστροφής, υψηλής απόδοσης και υψηλής αξιοπιστίας.
• Τεχνολογία ανθεκτικών στη διάβρωση: Οι επιφάνειες των τμημάτων σε θαλάμους των σειριακών μαγνητικών αντλιών αιωρούνται με ειδική διαδικασία, έτσι ώστε οι επιφάνειες να μπορούν να αντισταθούν στη διάβρωση που προκαλείται από τα διαβρωτικά αέρια στις διεργασίες παραγωγής ημιαγωγών για μεγάλο χρονικό διάστημα. Επιπροσθέτως, τέτοια αδρανή αέρια όπως το Ν2 πληρώνονται πλήρως στην άτρακτο των αντλιών για την προστασία των μερών χαμηλής κενού στις αντλίες, έτσι ώστε να πραγματοποιείται η λειτουργία σταθερά εξαντλητικών διαβρωτικών αερίων για μεγάλες περιόδους.
• Σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας θέρμανσης: Οι ηλεκτρομαγνητικές αντλίες με μοριακές ανελκώσεις είναι εξοπλισμένες με ηλεκτρικό θερμαντήρα και ελεγκτή θερμοκρασίας, έτσι ώστε να μπορούν να παρακολουθούνται και να ελέγχονται το νερό ψύξης, θέρμανσης αέρα-οστών, ηλεκτρική θέρμανση και θερμότητα που μεταφέρονται με προστατευτικά αέρια κατά τη λειτουργία, οι αντλίες μπορούν να διατηρηθούν σε κάποια τιμή για μεγάλο χρονικό διάστημα, ορισμένες αεριώδεις ουσίες δεν μετατρέπονται σε στερεές ουσίες σε κανονική θερμοκρασία και δεν εναποτίθενται στις αντλίες και μπορούν να ικανοποιηθούν οι απαιτήσεις για ειδική διαδικασία όπως η χάραξη.

ΠΡΟΔΙΑΓΡΑΦΕΣ:

Εφαρμογές:

Οι μαγνητικές αντλίες με μαγνητική διόρθωση χρησιμοποιούνται κυρίως σε πεδία παραγωγής ημιαγωγών, κατασκευής κλιπ, βιομηχανικής επιμετάλλωσης και επιστημονικών οργάνων, ειδικά για την εξαγωγή διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν σε etch, CVD, PVD και εμφύτευση ιόντων και αερίων εύκολα πήγαν σε κανονική θερμοκρασία.