Λεπτομέρειες:
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
|
Λίπανση: | Maglev | Φλάντζα: | ISO-K/CF |
---|---|---|---|
ψύξη: | Νερό | Ταχύτητα άντλησης: | 2300L/s Ν2 |
Υψηλό φως: | στροβιλο μοριακές αντλίες,turbomolecular κενή αντλία |
Αντλία Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, ψύξη με νερό, εξωτερικός ελεγκτής
Οι μαγνητικώς αιωρούμενες μοριακές αντλίες είναι οι αντλίες των οποίων ο άξονας υποστηρίζεται χάρη στη μαγνητική δύναμη, ικανοποιώντας τις απαιτήσεις εφαρμογής για πεδία σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών, κατασκευή τσιπ, βιομηχανική επένδυση και επιστημονικά όργανα.
Τεχνολογίες:
Τα πλεονεκτήματα:
Οι αντλίες αυτές έχουν πλεονεκτήματα, όπως μηδενική τριβή κατά τη λειτουργία και χαμηλή κατανάλωση ρεύματος, εύκολη απόκτηση πραγματικά καθαρού υψηλού κενού και εξαιρετικά υψηλού κενού χωρίς λίπανση για αντλίες, ικανή για εξαγωγή διαβρωτικών αερίων για μακροπρόθεσμη διάρκεια, υψηλή ασφάλεια και μεγάλη διάρκεια ζωής λόγω προστασίας των ρουλεμάν με κεραμικές σφαίρες ακριβείας και λειτουργία παραγωγής ηλεκτρικής ενέργειας σε περίπτωση αιφνίδιας διακοπής. Έχει προσθήκες ως ελεύθερη τριβής, ρύπανσης και συντήρησης και με χαμηλή δόνηση και μπορεί να εγκατασταθεί σε οποιοδήποτε προσανατολισμό.
Εφαρμογές:
Η εκχύλιση των διαβρωτικών αερίων που υπάρχουν στα εμφυτεύματα etch, CVD, PVD, ιόντων και αερίων εύκολα πήζει σε κανονική θερμοκρασία στους τομείς της κατασκευής ημιαγωγών, της κατασκευής κλιπ, της βιομηχανικής επιμετάλλωσης και των επιστημονικών οργάνων.
Προσδιορισμός:
Φλάντζα (σε) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Φλάντζα (Έξοδος) KF | DN40 |
Ταχύτητα άντλησης (L / s) | Ν 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Αυτός: 1900 | |
Η2: 850 | |
Αναλογία συμπίεσης | Ν 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Αυτός: 10 4 | |
Η 2 : 10 3 | |
Τελική πίεση (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Μέγιστη. Συνεχής πίεση πρόσθιου κενού (Pa) | 60 |
Μέγιστη. Πάνω πίεση κενού | Ν2: 250 |
Φυσικό αέριο (sccm) | Ν 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Αυτός: 2800 | |
Η2: 2100 | |
Ταχύτητα περιστροφής (rpm) | 27000 |
Χρόνος εκτέλεσης (λεπτά) | ≤11 |
Τύπος ψύξης, Τυπικό | Νερό |
Κατανάλωση νερού ψύξης (L / λεπτό) | 1 |
Θερμοκρασία νερού ψύξης (℃) | 20 |
Σύνδεση ρεύματος: Τάση (V AC) | 220 |
Μοντέλο ελεγκτή | CXF-2300 |
Βάρος (kgs) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: sales
Τηλ.:: +8613810212935